Спосіб виготовлення мікромеханічного компонента для сенсорного пристрою або мікрофонного пристрою
Sep 16, 2022
Залишити повідомлення
Елементи технічної реалізації:
3. У цьому винаході пропонується мікромеханічний компонент для сенсорного пристрою або мікрофонного пристрою з ознаками п. 1 і спосіб виготовлення мікромеханічного компонента для сенсорного пристрою або мікрофонного пристрою з ознаками п. 5.
4. Переваги винаходу
5. Конструкція відповідно до винаходу на основі щонайменше одного тимчасового шару щонайменше одного електроізоляційного матеріалу тимчасового шару мікромеханічного компонента, запропонованого винаходом, і тієї самої конфігурації відповідно до винаходу щонайменше однієї ізоляційної області, виготовленої з щонайменше один електроізоляційний матеріал із матеріалу ізоляційного тимчасового шару, щоб сконфігурувати порожнину мікромеханічного компонента, процес, придатний для часткового видалення щонайменше одного тимчасового шару, може бути здійснений без необхідності хвилюватися щодо пошкодження або видалення принаймні одну ділянку ізоляції. Таким чином, винахід спрощує оснащення відповідного мікромеханічного компонента згідно з винаходом щонайменше однією ізоляційною областю, яка переважно підходить для електричної ізоляції електродної структури від мембрани, між шаром мембранного матеріалу та шаром електродного матеріалу. електричну ізоляцію та/або відділення щонайменше однієї залишкової області щонайменше одного тимчасового шару від порожнини. Таким чином, винахід покращує мікромеханічний компонент згідно з винаходом порівняно з відомим рівнем техніки та додатково сприяє зниженню витрат на оплату праці та вартості виробництва мікромеханічного компонента згідно з винаходом для виготовлення мікромеханічного компонента згідно з винаходом.
6. Щонайменше одна ізоляційна область для відділення щонайменше однієї залишкової області щонайменше одного тимчасового шару може, зокрема, діяти як "захист від травлення" від небажаного травлення щонайменше однієї залишкової області під час створення порожнини. У той же час досягається щонайменше одна ізоляційна область, виготовлена з щонайменше одного електроізоляційного матеріалу для відділення щонайменше однієї залишкової області.
Зв'яжіться з нами:
Email: zhang@pride-cnc.com
Телефон: плюс 86-755-23699351
Моб: плюс 8618666663894