Мікропластина МЕМС на основі бічної композитної діелектричної плівки та спосіб її виготовлення та елементи технічної реалізації

Елементи технічної реалізації:

4. З огляду на вищезазначені технічні проблеми, даний винахід забезпечує мікрогарячу пластину mems на основі поперечної композитної діелектричної плівки та спосіб її виготовлення.

5. Метою цього винаходу є створення мікронагрівача плоского типу з низькими бічними втратами тепла, високою ефективністю споживання електроенергії мікронагрівача та низькою механічною деформацією, викликаною термічним навантаженням, яка задовольняє такі вимоги, як низьке енергоспоживання, низька деформація, високі вимоги до стабільності та надійності.

6. Технічна схема, за якою даний винахід вирішує вищезгадану технічну проблему, виглядає наступним чином:

7. Мікропластина mems на основі поперечної композитної діелектричної плівки, причому мікропластина містить композитний діелектричний шар, підкладку на основі кремнію, ізоляційний опорний шар, нагрівальний електрод, сигнальний електрод і прокладку, а також тильна зона травлення;

8. Підкладка на основі кремнію є основою для виготовлення мікроплитки;

9. Ізоляційний опорний шар розташований над підкладкою на основі кремнію, використовується для ізоляції, зменшення втрат тепла та забезпечення підтримки для області нагріву електрода та області вимірювання сигналу;

10. Нагрівальний електрод розташований над опорним шаром ізоляції, і нагрівальний електрод створює зону нагріву, щоб забезпечити необхідну робочу температуру для мікронагрівача;

Зв'яжіться з нами:

Email: zhang@pride-cnc.com

Телефон: плюс 86-755-23699351

Моб: плюс 8618666663894