Елементи технічної реалізації мікросхеми датчика кісткової провідності.

Елементи технічної реалізації:

3. З огляду на це, варіанти здійснення даної технології спрямовані на створення чіпа датчика кісткової провідності для вирішення проблеми нестабільної чутливості чіпа датчика кісткової провідності в попередньому рівні техніки.

4. Дана технологія забезпечує чіп датчика кісткової провідності, який містить: вібраційну мембрану; масовий блок, розташований з одного боку вібраційної мембрани; і упорну структуру для обмеження амплітуди вібрації блоку маси в напрямку, паралельному вібраційній мембрані. Стопорна конструкція використовується для обмеження амплітуди горизонтальної вібрації масового блоку, тим самим зменшуючи ступінь перешкоди горизонтальної вібрації вертикальній вібрації, забезпечуючи більшу стабільність вертикальної вібрації масового блоку та додатково покращуючи чутливість. рівномірність чіпа.

5. В одному варіанті здійснення стопорна структура містить копланарний перший стопорний шар і другий стопорний шар, причому перший стопорний шар розташований між рухомою зоною та масою, а другий стопорний шар і фіксована область накладаються один на одного; між першим упорним шаром і другим упорним шаром є перший проміжок.

6. В одному варіанті здійснення обидва матеріали першого стопорного шару та другого стопорного шару є полікремнієм.

7. В одному варіанті здійснення жертвувальний шар також включений, і жертвувальний шар включає в себе центральну область, розташовану з інтервалами, і крайову область, що оточує центральну область; центральна область розташована між рухомою областю та першим шаром зупинки, а крайова область розташована між фіксованою областю та крайовою областю. Між другими упорними шарами; центральна область і крайова область мають другий інтервал, другий інтервал більший за перший інтервал і сполучається з першим інтервалом.

8. В одному варіанті здійснення він також включає в себе опорну структуру; опорна конструкція включає в себе першу порожнину, і перша порожнина включає в себе отвір; блок маси розташований у першій порожнині, рухома зона вібраційної мембрани перекриває отвір, а нерухома зона з'єднана з опорою. Конструктивний зв'язок.

9. В одному варіанті здійснення відношення першого інтервалу до довжини першої порожнини є більшим за нуль і меншим або дорівнює 1/10 на ділянці, що проходить через центральну лінію пробної маси.

10. В одному варіанті здійснення упорна конструкція містить першу порожнину, блок маси розташований у першій порожнині, а бічна стінка блоку маси та стінка першої порожнини рознесені одна від одної.

11. В одному варіанті здійснення відношення мінімального інтервалу між бічною стінкою маси і стінкою першої порожнини до довжини першої порожнини більше нуля і менше або дорівнює 1/10.

12. В одному варіанті здійснення випробувальна маса містить корпусну частину і щонайменше один виступ на бічній стінці корпусної частини.

13. В одному варіанті здійснення випробувальна маса містить другу порожнину.

14. В одному варіанті здійснення перша порожнина містить отвір; діафрагма включає в себе рухому область і крайову область, що оточує рухому область; рухома зона закриває отвір, а нерухома зона з’єднана з упорною конструкцією.

15. В одному варіанті здійснення він також включає в себе нижню пластину на стороні масового блоку від вібраційної мембрани; стопорна конструкція містить щонайменше один виступ, розташований на поверхні нижньої пластини поблизу блоку маси, і кінець кожного виступу є поверхнею, що проходить через масу; у напрямку, паралельному діафрагмі, є простір між боковою стінкою кожного виступу та бічною стінкою маси.

16. В одному варіанті здійснення, піднятий матеріал включає будь-який із кремнію, оксиду кремнію та клею.

Зв'яжіться з нами:

Email: zhang@pride-cnc.com

Телефон: плюс 86-755-23699351

Моб: плюс 8618666663894